ליטהאָגראַפי מאַשין מאַסקע אַליגנער פאָטאָ-עטטשינג מאַשין

באַשרייַבונג

1. ויסשטעלן געגנט: 110 מם × 110 מם;
2. ★ ויסשטעלן ווייוולענגט: 365נם;
3. האַכלאָטע: ≤ 1ם;
4. אַליינמאַנט אַקיעראַסי: 0.8ם;
5. די באַוועגונג קייט פון די סקאַנינג טיש פון די אַליינמאַנט סיסטעם זאָל בייַ מינדסטער טרעפן: י: 10מם;
6. די לינקס און רעכט ליכט טובז פון די אַליינמאַנט סיסטעם קענען מאַך סעפּעראַטלי אין רענטגענ, י און ז אינסטרוקציעס, רענטגענ ריכטונג: ± 5 מם, י ריכטונג: ± 5 מם און ז ריכטונג: ± 5 מם;
7. מאַסקע גרייס: 2.5 אינטשעס, 3 אינטשעס, 4 אינטשעס, 5 אינטשעס;
8. מוסטער גרייס: פראַגמענט, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ פּאַסיק פֿאַר מוסטער גרעב: 0.5-6מם, און קענען שטיצן 20מם מוסטער ברעקלעך אין רובֿ (קאַסטאַמייזד);
10. ויסשטעלן מאָדע: טיימינג (קאָונטדאַון מאָדע);
11. ניט יונאַפאָרמאַטי פון לייטינג: ＜ 2.5%;
12. צווייענדיק פעלד קקד אַליינמאַנט מיקראָסקאָפּ: פארגרעסער אָביעקטיוו (1-5 מאל) + מיקראָסקאָפּ אָביעקטיוו אָביעקטיוו;
13. די באַוועגונג מאַך פון די מאַסקע קאָרעוו צו די מוסטער וועט בייַ מינדסטער טרעפן: X: 5 מם; י: 5 מם; : 6º;
14. ★ יקספּאָוזד ענערגיע געדיכטקייַט: > 30MW / cm2,
15. ★ די אַליינמאַנט שטעלע און ויסשטעלן שטעלע אַרבעט אין צוויי סטיישאַנז, און די צוויי סטאַנציע סערוואָ מאָטאָר סוויטשיז אויטאָמאַטיש;
16. לעוועלינג קאָנטאַקט דרוק ינשורז ריפּיטאַביליטי דורך סענסער;
17. ★ די אַליינמאַנט ריס און ויסשטעלן ריס קענען זיין שטעלן דידזשאַטאַלי;
18. ★ עס האט נאַנאָ אָפּדרוק צובינד און פּראַקסימאַטי צובינד;
19. ★ ריר פאַרשטעלן אָפּעראַציע;
20. קוילעלדיק ויסמעסטונג: וועגן 1400מם (לענג) 900מם (ברייט) 1500מם (הייך).