ליטהאָגראַפי מאַשין מאַסקע אַליינער פאָטאָ-עטשינג מאַשין

ויסטיילונג

1. ויסשטעלן געגנט: 110 מם × 110 מם;
2. ★ ויסשטעלן ווייוולענגט: 365 נם;
3. האַכלאָטע: ≤ 1 ם;
4. אַליינמאַנט אַקיעראַסי: 0.8 ם;
5. די באַוועגונג קייט פון די סקאַנינג טיש פון די אַליינמאַנט סיסטעם וועט לפּחות טרעפן: y: 10 מם;
6. די לינקס און רעכט ליכט טובז פון די אַליינמאַנט סיסטעם קענען מאַך סעפּעראַטלי אין רענטגענ, אין די ריכטונג, X ריכטונג: ± 5 מם, ה ריכטונג: ± 5 מם און אָפיס: ± 5 מם;
7. מאַסקע גרייס: 2.5 אינטשעס, 3 אינטשעס, 4 אינטשעס, 5 אינטשעס;
8. מוסטער גרייס: פראַגמענט, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ פּאַסיק פֿאַר מוסטער גרעב: 0.5-6 מם, און קענען שטיצן 20 מם מוסטער ברעקלעך אין רובֿ (קאַסטאַמייזד);
10. ויסשטעלן מאָדע: טיימינג (קאָונטדאָוון מאָדע);
11. ניט יונאַפאָרמאַטי פון לייטינג: <2.5%;
12. צווייענדיק פעלד CCD אַליינמאַנט מיקראָסקאָפּ: פארגרעסער אָביעקטיוו (1-5 מאל) + מיקראָסקאָפּ אָביעקטיוו אָביעקטיוו;
13. די באַוועגונג מאַך פון די מאַסקע קאָרעוו צו דער מוסטער וועט לפּחות טרעפן: x: 5mm; Y: 5 מם; : 6;
14. ★ ויסשטעלן ענערגיע געדיכטקייַט:> 30 מוו / קמ 2,
15. ★ די אַליינמאַנט שטעלע און ויסשטעלן שטעלע אַרבעט אין צוויי סטיישאַנז, און די צוויי סטאַנציע סערוואָ מאָטאָר מאָטאָר סוויטשיז אויטאָמאַטיש;
16. לעוועלינג קאָנטראָל דרוק ינשורז ריפּיאַביליטי דורך סענסער;
17. ★ און די ויסשטעלן ריס קענען זיין באַשטימט דידזשאַטאַלי;
18. שפיל האט נאַנאָ אָפּדרוק צובינד און פּראַקסימאַטי צובינד;
19. ★ תרובליק פאַרשטעלן אָפּעראַציע;
20. קוילעלדיק ויסמעסטונג: וועגן 1400 מם (לענג) 900 מם (ברייט) 1500 מם (הייך).