ליטאָגראַפֿיע מאַשין מאַסקע אַליינער פֿאָטאָ-עטשינג מאַשין

ספּעציפֿיקאַציע

1. עקספּאָוזשער שטח: 110 מם × 110 מם;
2. ★ עקספּאָוזשער כוואַליע לענג: 365 נם;
3. רעזאָלוציע: ≤ 1 מעטער;
4. אויסריכטונג גענויקייט: 0.8 מעטער;
5. די באַוועגונג ראַנגע פון ​​די סקאַנינג טיש פון די אַליינמאַנט סיסטעם זאָל לפּחות טרעפן: Y: 10 מם;
6. די לינקע און רעכטע ליכט רערן פון די אַליינמענט סיסטעם קענען זיך באַוועגן באַזונדער אין X, y און Z ריכטונגען, X ריכטונג: ± 5 מ"מ, Y ריכטונג: ± 5 מ"מ און Z ריכטונג: ± 5 מ"מ;
7. מאַסקע גרייס: 2.5 אינטשעס, 3 אינטשעס, 4 אינטשעס, 5 אינטשעס;
8. מוסטער גרייס: פראַגמענט, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ פּאַסיק פֿאַר מוסטער גרעב: 0.5-6 מם, און קען שטיצן 20 מם מוסטער שטיקלעך אין מערסטנס (קאַסטאַמייזד);
10. עקספּאָוזשער מאָדע: טיימינג (קאַונטדאַון מאָדע);
11. נישט-איינהייטלעכקייט פון באַלויכטונג: < 2.5%;
12. דואַל פעלד CCD אַליינמאַנט מיקראָסקאָפּ: זום לענס (1-5 מאָל) + מיקראָסקאָפּ אָביעקטיוו לענס;
13. די באַוועגונגס-שטריק פון דער מאַסקע אין באַצוג צו דער מוסטער זאָל לפּחות טרעפן: X: 5 מ״מ; Y: 5 מ״מ; : 6º;
14. ★ עקספּאָוזשער ענערגיע געדיכטקייט: > 30MW / cm2,
15. ★ די אויסריכטונג פאזיציע און אויסשטעלונג פאזיציע ארבעטן אין צוויי סטאנציעס, און די צוויי סטאנציע סערווא מאטאר סוויטשט זיך אויטאמאטיש;
16. לעוועלינג קאָנטאַקט דרוק ינשורז ריפּיטאַביליטי דורך סענסאָר;
17. ★ די אויסריכטונגס-גאַפּ און עקספּאָוזשער-גאַפּ קענען דיגיטאַל געשטעלט ווערן;
18. ★ עס האט נאַנאָ אימפּרינט צובינד און פּראַקסימאַט צובינד;
19. ★ טאָוטש סקרין אָפּעראַציע;
20. אַלגעמיינע גרייס: בערך 1400 מם (לענג) 900 מם (ברייט) 1500 מם (הייך).